እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና የአሉሚኒየም ስፒተር ኢላማዎች ባህሪያት

በቅርብ ዓመታት ውስጥ, የተቀናጀ የወረዳ (IC) ቴክኖሎጂ እድገት ጋር, የተቀናጁ ወረዳዎች ተዛማጅ መተግበሪያዎች በፍጥነት የተገነቡ ናቸው.እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና የአልሙኒየም ቅይጥ sputtering ዒላማ, የተቀናጀ የወረዳ ብረት interconnects በማምረት ውስጥ ደጋፊ ቁሳዊ እንደ, በቅርቡ የአገር ውስጥ ምርምር ውስጥ ትኩስ ርዕስ ሆኗል.የ RSM አርታኢ የከፍተኛ ንፅህና የአሉሚኒየም ቅይጥ ስፒተር ዒላማ ባህሪያትን ያሳየናል።

የማግኔትሮን የመተጣጠፍ ዒላማን የበለጠ ለማሻሻል እና የተከማቹ ፊልሞችን ጥራት ለማረጋገጥ ብዙ ቁጥር ያላቸው ሙከራዎች እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና የአልሙኒየም ቅይጥ sputtering ዒላማ ጥንቅር, microstructure እና እህል ዝንባሌ አንዳንድ መስፈርቶች እንዳሉ ያሳያሉ.

የዒላማው የእህል መጠን እና የእህል አቅጣጫ በአይሲ ፊልሞች ዝግጅት እና ባህሪያት ላይ ትልቅ ተጽእኖ አላቸው።ውጤቶቹ እንደሚያሳዩት የእህል መጠን በመጨመር የማስቀመጫው መጠን ይቀንሳል;ለተመሳሳይ ስብጥር ለታለመለት ዒላማ በትንሹ የእህል መጠን ያለው የዒላማው ፍጥነት ከትልቅ የእህል መጠን ጋር ሲነፃፀር ፈጣን ነው;የዒላማው የእህል መጠን የበለጠ ተመሳሳይነት ያለው, የተከማቹ ፊልሞች ውፍረት ስርጭት የበለጠ ተመሳሳይ ነው.

በተመሳሳዩ የመተጣጠፍ መሳሪያ እና የሂደት መመዘኛዎች የአል ኩ ቅይጥ ዒላማው የመፍቻ ፍጥነት በአቶሚክ ጥግግት መጨመር ይጨምራል ነገር ግን በአጠቃላይ በክልል ውስጥ የተረጋጋ ነው።የእህል መጠን በ sputtering ፍጥነት ላይ ያለው ተጽእኖ በአቶሚክ ጥግግት ከእህል መጠን ለውጥ ጋር በመለወጥ ነው;የማስቀመጫ ፍጥነቱ በዋነኝነት የሚጎዳው በአል ኩ ቅይጥ ኢላማ የእህል አቅጣጫ ነው።የ (200) ክሪስታል አውሮፕላኖች መጠንን በማረጋገጥ ላይ, የ (111), (220) እና (311) ክሪስታል አውሮፕላኖች መጠን መጨመር የተከማቸበትን ፍጥነት ይጨምራል.

የእህል መጠን እና የእህል አቀማመጦች እጅግ በጣም ከፍተኛ ጥራት ያለው የአሉሚኒየም ቅይጥ ዒላማዎች በዋነኝነት የሚስተካከሉ እና የሚቆጣጠሩት በ ingot homogenization፣ በሙቅ ስራ እና በዳግም ክሪስታላይዜሽን ነው።የዋፈር መጠን ወደ 20.32 ሴ.ሜ (8ኢን) እና 30.48 ሴሜ (12ኢን) በማደግ ላይ እያለ የዒላማው መጠን እየጨመረ ሲሆን ይህም እጅግ በጣም ከፍተኛ ጥራት ያለው የአሉሚኒየም ቅይጥ የሚረጩ ዒላማዎች ከፍተኛ መስፈርቶችን ያስቀምጣል።የፊልም ጥራት እና ምርትን ለማረጋገጥ የዒላማ ማቀነባበሪያ መለኪያዎች ጥብቅ ቁጥጥር ሊደረግባቸው ይገባል የታለመ ጥቃቅን መዋቅር እና የእህል አቅጣጫው ጠንካራ (200) እና (220) የአውሮፕላን ሸካራነት ሊኖረው ይገባል.