በቫኩም ሽፋን ውስጥ የመትፋት ዒላማዎች ተግባራት

ዒላማው ብዙ ተጽእኖዎች አሉት, እና የገበያ ልማት ቦታ ትልቅ ነው.በብዙ መስኮች በጣም ጠቃሚ ነው.ሁሉም ማለት ይቻላል አዲስ የሚረጭ መሣሪያዎች ኃይለኛ ማግኔቶችን ወደ ጠመዝማዛ ኤሌክትሮኖች ይጠቀማሉ በዒላማው ዙሪያ ያለውን የአርጎን ionization ለማፋጠን በዒላማው እና በአርጎን ions መካከል የመጋጨት እድልን ይጨምራል።አሁን በቫኩም ሽፋን ውስጥ ዒላማውን የመትፋት ሚና እንይ።

የፍሰት መጠንን ያሻሽሉ።በአጠቃላይ የዲሲ ስፓይተር ለብረታ ብረት ሽፋን ጥቅም ላይ ይውላል, የ RF AC sputtering ላልሆኑ የሴራሚክ ማግኔቲክ ቁሶች ጥቅም ላይ ይውላል.ዋናው መርሆ በቫኩም ውስጥ በአርጎን (ኤአር) ionዎችን ለመምታት የሚያብረቀርቅ ፈሳሽን መጠቀም ሲሆን በፕላዝማ ውስጥ ያሉት cations እንደ ተረጨው ንጥረ ነገር ወደ አሉታዊ ኤሌክትሮድ ወለል በፍጥነት ይጣደፋሉ።ይህ ተጽእኖ የዒላማው ቁሳቁስ እንዲበር እና በንዑስ ስቴቱ ላይ እንዲቀመጥ ያደርገዋል.

በአጠቃላይ የፊልም ሽፋን በማራገፍ ሂደት ውስጥ በርካታ ባህሪያት አሉ፡ (1) ብረት፣ ቅይጥ ወይም ኢንሱሌተር ወደ ፊልም ዳታ ሊሰራ ይችላል።

(2) በተገቢው የዝግጅት ሁኔታዎች ውስጥ, ተመሳሳይ ቅንብር ያለው ፊልም ከበርካታ እና ከተዘበራረቁ ኢላማዎች ሊሠራ ይችላል.

(3) የታለመው ንጥረ ነገር እና የጋዝ ሞለኪውሎች ድብልቅ ወይም ውህድ በከባቢ አየር ውስጥ ኦክስጅንን ወይም ሌሎች ንቁ ጋዞችን በመጨመር ሊፈጠር ይችላል።

(4) የዒላማው ግቤት የአሁኑ እና የጭረት ጊዜን መቆጣጠር ይቻላል, እና ከፍተኛ-ትክክለኛ የፊልም ውፍረት ለማግኘት ቀላል ነው.

(5) ከሌሎች ሂደቶች ጋር ሲነጻጸር, ሰፊ ቦታዎችን ዩኒፎርም ፊልሞችን ለማምረት ምቹ ነው.

(6) የተበተኑት ቅንጣቶች በስበት ኃይል አይነኩም ማለት ይቻላል፣ እና የዒላማ እና የንዑስ ክፍል ቦታዎች በነፃ ሊደረደሩ ይችላሉ።