በቫኩም ሽፋን ውስጥ የመትፋት ዒላማዎች ሚናዎች ምንድ ናቸው?

የሚረጩ የዒላማ ቁሳቁሶችን በሚመርጡበት ጊዜ የቫኩም ፕላስቲንግ የሰዎች ጉዳይ ሆኗል, በአሁኑ ጊዜ, እንደ ስፕቱተር ሽፋን, በተለይም የማግኔትሮን ስፒውተር ሽፋን ክህሎትን ማዳበር, ለማንኛውም መረጃ ቀጭን ፊልሞችን በቁሳዊ ዝግጅት ላይ ማነጣጠር ይችላል. በ ion bombardment ፣ ምክንያቱም በሽፋኑ ሂደት ውስጥ የታለሙ ቁሳቁሶችን ወደ ንጣፉ አይነት በመርጨት ፣ በፊልም ጥራት ላይ ጠቃሚ ተፅእኖ ስላለው ፣ የታለመው ቁሳቁስ መስፈርቶች የበለጠ ጥብቅ ናቸው።እዚህ ጋር ስለ ቫክዩም ሽፋን ላይ ስለትትት ዒላማ ሚና ከቤጂንግ ዘና ማለትን እንማራለን።

一, የመምረጥ መርህ እና የታለመ ቁሳቁስ ምደባ

በታለመው ቁሳቁስ ምርጫ ውስጥ ፣ ፊልሙ ራሱ ከመጠቀም በተጨማሪ የሚከተሉትን ችግሮች ከግምት ውስጥ ማስገባት አለባቸው ።

ችግር 1. በገለባው አጠቃቀም እና የአፈፃፀም መስፈርቶች መሠረት የታለመው ቁሳቁስ የንጽህና ፣ የመጽሔት ይዘት ፣ የአካል ክፍሎች ተመሳሳይነት ፣ የማሽን ትክክለኛነት እና የመሳሰሉትን ቴክኒካዊ መስፈርቶች ማሟላት አስፈላጊ ነው ።

ችግር 2. የታለመው ቁሳቁስ ፊልም ከተሰራ በኋላ ጥሩ የሜካኒካዊ ጥንካሬ እና የኬሚካል መረጋጋት ሊኖረው ይገባል;

ችግር 3. ይህ ፊልም ቁሳዊ እንደ ምላሽ sputtering ፊልም እንደ ምላሽ ጋዝ ጋር በቀላሉ ውሁድ ፊልም ማመንጨት አስፈላጊ ነው;

ችግር 4. ዒላማውን እና ማትሪክስ ጠንካራ እንዲሆን ማቀድ አስፈላጊ ነው, አለበለዚያ ከማትሪክስ ጋር በጥሩ ሁኔታ የተጣበቀ የፊልም ቁሳቁስ መወሰድ አለበት, በመጀመሪያ የታችኛውን የፊልም ንብርብር ይትፉ እና ከዚያም አስፈላጊውን የፊልም ንብርብር ያዘጋጁ;

ጥያቄ 5. የፊልም አፈጻጸም መስፈርቶችን በማሟላት ቅድመ ሁኔታ ላይ, በዒላማው እና በማትሪክስ የሙቀት መስፋፋት መካከል ያለው ልዩነት አነስተኛ ነው, ስለዚህ የፍላሹን ፊልም የሙቀት ጫና ተጽእኖ ለመቀነስ;

ብዙ በብዛት ጥቅም ላይ የዋሉ ኢላማዎች ዝግጅት

(1) cr ኢላማ

Chromium እንደ sputtering ፊልም ቁሳዊ ብቻ ሳይሆን መሠረታዊ ቁሳዊ ጋር በማጣመር ቀላል አይደለም, እና Chromium እና ኦክሳይድ CrQ3 ፊልም, በውስጡ ሜካኒካዊ ንብረቶች, አሲድ የመቋቋም እና አማቂ መረጋጋት የተሻለ ናቸው.

ቤጂንግ ሩዪቺ ሃይ-ቴክ ኮርፖሬሽን በዋናነት የተሰማራው፡ የታይታኒየም ኢላማ ዚርኮኒየም ኢላማ፣ የአሉሚኒየም ኢላማ፣ የኒኬል ኢላማ፣ የክሮሚየም ኢላማ፣ የተንግስተን ኢላማ፣ ሞሊብዲነም ኢላማ፣ የመዳብ ኢላማ፣ የሲሊኮን ኢላማ፣ ኒዮቢየም ኢላማ፣ የታንታለም ኢላማ፣ የታይታኒየም-ሲሊኮን ቅይጥ ዒላማ፣ የታይታኒየም-ኒዮቢየም ቅይጥ ዒላማ፣ የታይታኒየም-ቱንግስተን ቅይጥ ዒላማ፣ ቲታኒየም-ዚርኮኒየም ቅይጥ ዒላማ፣ ኒኬል-ክሮሚየም ቅይጥ ዒላማ፣ ሲሊካ-አሉሚኒየም ቅይጥ ዒላማ፣ ኒኬል-ቫናዲየም ቅይጥ ዒላማ፣ ክሮሚየም-አሉሚኒየም-ሲሊኮን ተርናሪ alloy ዒላማ፣ ቲ አል ሲ የሦስተኛ ቅይጥ ዒላማ ቁሳቁስ ፣ በጌጣጌጥ / ጠንካራ ወለል እና ተግባራዊ ሽፋን ፣ የሕንፃ መስታወት ፣ ጠፍጣፋ ማሳያ / ኦፕቲካል ኤሌክትሪክ ፣ ኦፕቲካል ማከማቻ ፣ ኤሌክትሮኒክስ ፣ ማተሚያ እና ሌሎች ሙያዎች ።